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熱絲金剛石設(shè)備品牌
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真空腔室尺寸：立式前開(kāi)門結(jié)構(gòu)，后置抽氣系統(tǒng)，雙層水冷； 真空腔室尺寸：Φ600×H500mm； 基片臺(tái)尺寸：Φ200mm； 襯底溫度：600~1100℃； 產(chǎn)品概述： 1.適用范圍：適用于各單位實(shí)驗(yàn)室、高校實(shí)驗(yàn)室、教學(xué)等項(xiàng)目的科研、產(chǎn)品中試。 2.產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)和特點(diǎn)：熱絲金剛石設(shè)備采用熱絲化學(xué)氣相沉積技術(shù)，已應(yīng)用于國(guó)內(nèi)許多熱絲生產(chǎn)線。該設(shè)備生產(chǎn)了大型片狀多晶金剛石厚膜，取得了相當(dāng)大的經(jīng)濟(jì)效益。熱絲金剛石設(shè)備適用于工業(yè)生產(chǎn)、科研、教學(xué)和產(chǎn)品試驗(yàn)。 3.主要用途:用于生長(zhǎng)毫米級(jí)金剛石厚膜、金剛石薄膜、類金剛石薄膜、氮化硅和氧化硅薄膜。納米金剛石薄膜和微晶金剛石薄膜沉積在切割工具、鉆頭、絲錐等表面。也可以制備硼金剛石電極、BBD電極和金剛石電極膜。 參數(shù)：
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