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Plasma Scrubber等離子式廢氣處理設備品牌
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本設備用于處理半導體光伏面板等行業(yè)生產制程中都會產生的大量易燃劇毒有害氣體，廢氣通過真空管進入設備后在反應腔內被分解成無害成分，經過水淋和顆粒捕捉后能達到安全的排放標準。
本設備通過等離子發(fā)生器結合氮氣產生等離子火焰，該火焰能量集中，適合分解易燃易爆劇毒及溫室氣體。設備設計有專用的粉塵沖洗式反應腔，有效防止腔體腐爛和堵塞。
產品特點
設備占地面積小、便于安裝
不需要燃氣等化石燃料（僅用氮氣），減碳節(jié)能
SiH4、H2、PH3 CF4 SF6 等泛光伏半導體特氣處理效率高
開關機速度快，不需要長時間等待加熱和散熱
安全性能好，靈活互備
競爭優(yōu)勢
自研發(fā)穩(wěn)定便于維護的火炬，縮短安裝時間
反應腔采用粉塵沖洗設計
入口管采用新型防堵方案，PM周期長
可根據客戶需求，提供定制化服務
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