參考價格
面議型號
Primo SSC AD-RIE?品牌
中微公司產(chǎn)地
上海樣本
暫無看了Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備的用戶又看了
留言詢價
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
Primo SSC AD-RIE?是中微于2013年推出的單反應(yīng)臺電介質(zhì)刻蝕產(chǎn)品，在Primo AD-RIE?產(chǎn)品技術(shù)和Primo平臺概念的基礎(chǔ)上，通過在一個平臺上集成六個單反應(yīng)臺以優(yōu)化產(chǎn)能。除了可獨立輸運氣體的單反應(yīng)臺腔體設(shè)計以外，為應(yīng)對2x納米以下特別是接觸孔刻蝕等關(guān)鍵制程的挑戰(zhàn)，該設(shè)備還具有以下特性：同步脈沖射頻系統(tǒng)、可冷卻聚焦環(huán)工藝組件和甚低壓氣體抽運系統(tǒng)等。Primo SSC AD-RIE有利于處理多層薄膜刻蝕的微負載問題、極端邊緣形貌問題以及接觸孔刻蝕的終端控制問題。Primo SSC AD-RIE已在主流客戶16納米芯片生產(chǎn)線上穩(wěn)定量產(chǎn)。
具有獨立氣體輸運系統(tǒng)的單反應(yīng)臺腔體設(shè)計
多區(qū)氣體調(diào)節(jié)以及雙區(qū)靜電吸盤溫度控制
高抽氣率，大容量分子泵
雙級同步脈沖射頻系統(tǒng)（低頻和高頻）
可冷卻聚焦環(huán)工藝組件，提升晶圓邊緣性能
高上下電極面積比，以應(yīng)用于高深寬比結(jié)構(gòu)刻蝕
高電介質(zhì)材料刻蝕速率，多手段刻蝕均勻度調(diào)節(jié) 雙級同步脈沖射頻系統(tǒng) 先進氣體抽運系統(tǒng)，以進一步擴大工藝窗口 中高深寬比結(jié)構(gòu)刻蝕的低成本解決方案競爭優(yōu)勢
暫無數(shù)據(jù)！
Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備的工作原理介紹？Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備的使用方法？Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備多少錢一臺？Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備使用的注意事項Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備的說明書有嗎？Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備的操作規(guī)程有嗎？Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備的報價含票含運費嗎？Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備有現(xiàn)貨嗎？Primo SSC AD-RIE?刻蝕設(shè)備包安裝嗎？
移動端
工商已核實
