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面議型號(hào)
PRISMO A7? MOCVD設(shè)備品牌
中微公司產(chǎn)地
上海樣本
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中微具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備PRISMO A7?可配置多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔,可以同時(shí)加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片,工藝能力還能延展到生長(zhǎng)8英寸外延晶片。每個(gè)反應(yīng)腔都可以獨(dú)立控制,這一設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。
可獨(dú)立控制的反應(yīng)腔運(yùn)行模式
自主的實(shí)時(shí)監(jiān)控系統(tǒng)
精準(zhǔn)的參數(shù)控制
全自動(dòng)化處理
符合半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)的軟件控制系統(tǒng)
暫無(wú)數(shù)據(jù)!