參考價(jià)格
面議型號(hào)
Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)品牌
中微公司產(chǎn)地
上海樣本
暫無看了Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)的用戶又看了
留言詢價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
Primo iDEA?（即“雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)”）源于中微的一個(gè)新理念，即：將一個(gè)或兩個(gè)雙反應(yīng)臺(tái)D-RIE或AD-RIE工藝模塊、和一個(gè)遠(yuǎn)程等離子體源除膠器（DsA）反應(yīng)腔整合在同一個(gè)平臺(tái)上。中微的遠(yuǎn)程等離子體源除膠器采用了雙反應(yīng)臺(tái)腔體設(shè)計(jì)，頂置的遠(yuǎn)程等離子體源（RPS）產(chǎn)生的活性反應(yīng)物質(zhì)，被均勻地輸送到晶圓表面以移除光刻膠。這種方法能夠提高光刻膠移除效率，并降低等離子體直接接觸晶圓的機(jī)會(huì)。這對(duì)于一些客戶來說尤為重要，其芯片器件對(duì)表面電荷極其敏感，存在等離子體誘發(fā)損傷（PID）的潛在風(fēng)險(xiǎn)。為了解決這方面的顧慮，客戶通常要付出巨大的人力和物力修改整合方案，或者為每個(gè)步驟（例如光刻膠移除）添置專用設(shè)備。擁有Primo iDEA整合系統(tǒng)后，客戶可以在同一個(gè)平臺(tái)上靈活地進(jìn)行芯片刻蝕和光刻膠移除，顯著減少設(shè)備占地面積，提高生產(chǎn)效率。Primo iDEA提供了具有成本優(yōu)勢(shì)的解決方案。
為芯片刻蝕和光刻膠移除提供創(chuàng)新的整合解決方案
遠(yuǎn)程等離子體源 高效率除膠 高效離子隔濾，以避免對(duì)器件造成等離子體誘發(fā)損傷產(chǎn)品特點(diǎn)
雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕與除膠整合一體機(jī)，顯著減小占地面積 使用Primo iDEA?系統(tǒng)設(shè)計(jì)以代替單獨(dú)的刻蝕和除膠系統(tǒng)，節(jié)省成本20%以上競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)
暫無數(shù)據(jù)！
Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)的工作原理介紹？Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)的使用方法？Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)多少錢一臺(tái)？Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)使用的注意事項(xiàng)Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)的說明書有嗎？Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)的操作規(guī)程有嗎？Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)有現(xiàn)貨嗎？Primo iDEA?雙反應(yīng)臺(tái)刻蝕除膠一體機(jī)包安裝嗎？
移動(dòng)端
工商已核實(shí)
