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HORIC L200 LPCVD系統(tǒng)，主要用于半導(dǎo)體產(chǎn)線8英寸及以下晶圓淀積SiN、POLY、SiO?等薄膜，設(shè)備工藝性能好、產(chǎn)能大、可靠性高，可滿足半導(dǎo)體領(lǐng)域的多種產(chǎn)線需求。設(shè)備包含凈化工作臺、爐體機(jī)箱、氣源柜、真空系統(tǒng)及電氣控制系統(tǒng)五大部分，相關(guān)模塊齊全，可根據(jù)不同客戶需求進(jìn)行配置。
設(shè)備特點(diǎn)
?可根據(jù)客戶需求配置多工藝組合的機(jī)臺
?高可靠性、穩(wěn)定性
?安全性能高，設(shè)備及所使用的元件符合國家和國際標(biāo)準(zhǔn)
?可提供先進(jìn)成熟的MES系統(tǒng)解決方案
?良好的工藝技術(shù)支持
產(chǎn)品應(yīng)用
?晶圓尺寸：4、6、8 英寸
?適用材料：硅、碳化硅、硅基氮化鎵
?適用工藝：氮化硅、氧化硅、多晶硅、摻雜多晶硅、PSG、BPSG
?適用領(lǐng)域：化合物半導(dǎo)體、襯底材料、科研領(lǐng)域
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