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eVictor PVD Al設(shè)備是一款應(yīng)用于12英寸集成電路領(lǐng)域的高端PVD設(shè)備，系統(tǒng)集成了高溫去氣、等離子體預(yù)清洗、高溫Al、TaN、TTN等多種工藝模塊，并實(shí)現(xiàn)在系統(tǒng)內(nèi)部的工藝整合。涉及大平臺(tái)傳輸、高溫靜電卡盤、先進(jìn)磁控濺射源設(shè)計(jì)、厚鋁Whisker Defect控制以及軟件控制等多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)。
設(shè)備特點(diǎn)
?先進(jìn)的磁控濺射系統(tǒng)，有效提高薄膜均勻性及靶材利用率
?專業(yè)的加熱基座和高溫靜電卡盤設(shè)計(jì)，具備良好的溫度均勻性
?全新雙腔傳輸平臺(tái)，可配置性強(qiáng)，可支持10個(gè)工藝模塊
?優(yōu)秀的Whisker Defect解決方案，降低產(chǎn)品缺陷
?大產(chǎn)能，低運(yùn)營成本
產(chǎn)品應(yīng)用
?晶圓尺寸：12英寸
?適用材料：鋁、氮化鉭、氮化鈦、鈦
?適用工藝：AlPad、鋁線、熱鋁
?適用領(lǐng)域：集成電路、功率半導(dǎo)體、硅基微型顯示