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國產(chǎn)全自動臺階儀 JS3000B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定可靠的重復性測量。JS2000B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。
特點
量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計、售后便捷、極高性價比
應用范圍
▲ 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量
▲ 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量
▲ 各式薄膜等應力測量
▲ 3D掃描成像
▲ 計劃任務和多點掃描
▲ 批量測試晶圓，批量處理數(shù)據(jù)等
系統(tǒng)組成
▲ EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)
▲ JS300B
選配品
▲ 高度校準標樣
▲ FFU模塊
▲ 靜電消除模塊
▲ E84接口
技術(shù)參數(shù)
軟件界面
掃描圖
18nm樣品
68um樣品
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