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等離子體修飾系統(tǒng)，利用三溫區(qū)管式爐，通過(guò)氧氣輔助化學(xué)氣相沉積技術(shù)，在藍(lán)寶石襯底上外延生長(zhǎng)了大尺寸、高質(zhì)量的單層二硫化鉬薄膜。在生長(zhǎng)過(guò)程中引入氧氣，不僅能夠阻止三氧化鉬源中毒，降低形核密度，而且還能減小硫空位密度，從而實(shí)現(xiàn)了大尺寸單晶單層二硫化鉬的生長(zhǎng)。
利用等離子體修飾系統(tǒng)，在自限生長(zhǎng)的前提下，目前已實(shí)現(xiàn)了兩英寸晶圓級(jí)高質(zhì)量單層二硫化鉬的外延生長(zhǎng)（100%覆蓋度，成膜均勻），并通過(guò)改進(jìn)轉(zhuǎn)移設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了晶圓級(jí)薄膜的零污染且襯底無(wú)損轉(zhuǎn)移。單層二硫化鉬薄膜均勻覆蓋在整個(gè)藍(lán)寶石襯底上，而且沒(méi)有縫隙，沒(méi)有重疊層。 薄膜由晶粒尺寸為 1 微米，相對(duì)取向?yàn)?60 o的晶粒拼接而成。成型薄膜只包含 60 o晶界。
等離子體修飾系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
1、避免固態(tài)源中毒；
2、成膜均勻性好；
3、成膜面積大；
4、快速、生長(zhǎng)速度可控。
等離子體修飾系統(tǒng)的工作原理介紹？等離子體修飾系統(tǒng)的使用方法？等離子體修飾系統(tǒng)多少錢(qián)一臺(tái)？等離子體修飾系統(tǒng)使用的注意事項(xiàng)等離子體修飾系統(tǒng)的說(shuō)明書(shū)有嗎？等離子體修飾系統(tǒng)的操作規(guī)程有嗎？等離子體修飾系統(tǒng)的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？等離子體修飾系統(tǒng)有現(xiàn)貨嗎？等離子體修飾系統(tǒng)包安裝嗎？相關(guān)產(chǎn)品
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