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多功能電感耦合等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)（CVD）是用來制備高純、高性能固體薄膜的主要技術(shù)，主要借助微波或射頻的方法將目標(biāo)氣體進(jìn)行電離，促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)在較低的溫度下進(jìn)行，從而在基片上沉積出所期望的薄膜。
目前項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的CVD設(shè)備可在多種襯底上（如金屬、氧化物、半導(dǎo)體表面）直接生長以石墨烯為代表的各類新型二維材料，用于新材料、新器件的研發(fā)。工藝簡單廉價(jià)，且具有傳統(tǒng)半導(dǎo)體生長工藝的兼容性。
等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD的工作原理介紹？等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD的使用方法？等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD多少錢一臺？等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD使用的注意事項(xiàng)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD的說明書有嗎？等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD的操作規(guī)程有嗎？等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD有現(xiàn)貨嗎？等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD包安裝嗎？相關(guān)產(chǎn)品
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