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高溫氣氛爐，預(yù)抽真空氣氛爐

此款預(yù)抽真空高溫氣氛爐通過(guò)預(yù)抽真空，確保爐膛內(nèi)氧含量降到*低。然后通入氮?dú)?、氬氣或者氮?dú)浠旌蠚怏w，從而在氣氛保護(hù)下獲得理想的熱處理效果。因其優(yōu)秀的氣氛環(huán)境以及緊湊實(shí)用性，目前已廣泛的應(yīng)用于材料實(shí)驗(yàn)室或者半導(dǎo)體、氮化硅等產(chǎn)品的小批量生產(chǎn)。

高溫氣氛爐特點(diǎn)

• 室溫～1700℃

• 爐膛采用氧化鋁多晶纖維，溫場(chǎng)均衡無(wú)污染。

• 全密閉結(jié)構(gòu)爐膛， 殼體雙層加厚鋼板，可承受0.1Mpa 壓力。

• 頂部，左側(cè)，右側(cè)，背部均采用12mm的實(shí)心方鋼做加強(qiáng)筋，抽真空不變形。**抽真空度可到-0.08MPa.

• 控溫系統(tǒng)采用工業(yè)精度0.2級(jí)智能儀表，PID調(diào)節(jié)，51段編程。

• 爐門密封性能好，四個(gè)手輪緊鎖爐門 ，硅膠圈密封。

高溫氣氛爐標(biāo)準(zhǔn)配件

• 爐門擋火磚（1200型除外）

• 高溫手套

• 坩堝鉗

• 說(shuō)明書

• 加熱元件兩支（1200型除外）

• 旋片真空泵

可選配件

• 直連式真空泵

• 觸摸屏/電腦連接軟件

• 專用坩堝/多層窯具

• 加熱元件（硅鉬棒，硅碳棒）

• 氣路系統(tǒng)（浮子/質(zhì)子流量計(jì)，2路/3路氣體）

預(yù)抽真空氣氛爐技術(shù)規(guī)格

1200°C 氣氛爐標(biāo)準(zhǔn)尺寸

1400°C 氣氛爐標(biāo)準(zhǔn)尺寸

1700°C 氣氛爐標(biāo)準(zhǔn)尺寸