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INCA WAVE波譜儀是SEM中很少采用與EPMA相同的全聚焦幾何設(shè)計(jì)的波譜儀。這意味著分辨率提高了2倍，測量更加穩(wěn)定且可重復(fù)。

WAVE是一種以其工程精度和質(zhì)量而聞名的全聚焦光譜儀。WAVE光譜儀的內(nèi)部組件(晶體、探測器和測角儀)以高精度完全協(xié)調(diào)運(yùn)行，以保持正確的衍射條件，且測量是可重復(fù)的。

• WAVE光譜儀的安裝有水平傾斜的Rowland圓，因此樣品的垂直定位精度并不重要。這使得所有用戶都可以輕松采集重復(fù)性的結(jié)果。它不需要光學(xué)顯微鏡來設(shè)定（平行束波譜儀需要）

• 光譜分辨率低至2eV，可輕松區(qū)分密集的x射線

• 出色的檢出限，許多元素的檢測下限小于100ppm

• 標(biāo)準(zhǔn)能量范圍高達(dá)10.8 kev(可選15keV)

• 采用XPP基體校正算法進(jìn)行準(zhǔn)確的定量分析

• 已經(jīng)超過25年的發(fā)展完善，可靠牢固的機(jī)械設(shè)計(jì)

• 可成功安裝在常規(guī)，低真空，環(huán)掃，場發(fā)射等多種SEM上

• 已通過驗(yàn)證，適用于多種類型的樣品，包括使用低束流(<5nA)條件下輕元素和高空間分辨率檢測