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產(chǎn)品簡介
適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。不僅可以安裝在新裝置上，而且從當前使用的UV燈光源更換也很方便。通過搭載UV-LED，可降低耗電量、降低環(huán)境負荷、延長發(fā)光源壽命，并且不需要機械相關(guān)的消耗部件，從而大大降低客戶的運行成本。
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