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ARK 高輸出型芯片周邊曝光led光源

適用于q線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通過(guò)的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了7000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長(zhǎng)時(shí)間處理的厚抗蝕劑的處理。進(jìn)一步可大幅縮短曝光處理時(shí)間，大大有助于芯片處理張數(shù)的增大。適用于g線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通過(guò)的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了7，000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長(zhǎng)時(shí)間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進(jìn)一步可大幅縮短曝光處理時(shí)間，大大有助于芯片處理張數(shù)的增大。適用于q線、i線抗蝕劑的芯片周邊曝光用的UV-LED光源。通的光學(xué)設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了7，000mw/cm2以上的高輸出。適用于以往需要較長(zhǎng)時(shí)間處理的厚膜抗蝕劑的處理。進(jìn)一步可大幅縮短曝光處理時(shí)間，大大有助于芯片處理張數(shù)的增大。