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設(shè)備特點(diǎn)：
疊堆設(shè)計(jì)**可配置12個(gè)腔室
上下層傳送系統(tǒng)提供多達(dá)350wph的吞吐量
可配置可正背面清洗，藥液種類多達(dá)5種，可回收2種藥液
腔體可配備二流體霧化噴嘴
腔室可將化學(xué)飛濺降至*低，確保腔體清潔晶圓加工環(huán)境
腔體超潔凈空氣動(dòng)態(tài)平衡均一性好
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