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產(chǎn)品摘要

該系列設(shè)備為鈣鈦礦太陽(yáng)能電池、OLED、鋰電池、金屬電極薄膜等產(chǎn)業(yè)研發(fā)專用設(shè)備，廣泛應(yīng)用于高校、科研院所的不同材料薄膜制備研究。也可用于生產(chǎn)線前期工藝試驗(yàn)等。設(shè)備可與手套箱對(duì)接方便在手套箱中操作，前滑動(dòng)開(kāi)門結(jié)構(gòu)，設(shè)備可融入手套箱整體設(shè)計(jì)、設(shè)備機(jī)架在手套箱下方不占用額外空間。

產(chǎn)品介紹

設(shè)備特點(diǎn)：

★前后開(kāi)門保證密封，前滑動(dòng)開(kāi)門操作輕便，氣動(dòng)自動(dòng)鎖緊；開(kāi)后門裝料/檢修時(shí)大氣不會(huì)進(jìn)入手套箱環(huán)境，后門關(guān)閉時(shí)可直接通過(guò)把手鎖緊密封

★溫控有機(jī)蒸發(fā)源采用控溫式束源爐結(jié)構(gòu)擋板一體化設(shè)計(jì)保證有機(jī)材料不被污染，不僅角度可調(diào)，均勻性好還可通過(guò)進(jìn)口膜厚儀聯(lián)動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)速率精確控制、摻雜等

★設(shè)備兼容有機(jī)/無(wú)機(jī)蒸發(fā),多元共蒸復(fù)合膜/分蒸獲得多層膜

★樣品臺(tái)可升降調(diào)整源-基片距離，有效節(jié)約貴重材料，降低實(shí)驗(yàn)成本

★系統(tǒng)采用PLC+觸摸屏操作，整體美觀操作簡(jiǎn)單，自動(dòng)化程度高

設(shè)備參數(shù)：

★腔體尺寸（L×W×Hmm)：400×400×450/450×400×550

設(shè)備尺寸（L×W×Hmm)：950×780×1900/950×830×1900

★真空極限：優(yōu)于（2E﹣05）Pa

抽速保壓：（5E﹣04）≤20min 保壓12小時(shí)≤5pa

★膜厚均勻性優(yōu)異（±3％~±5%），重復(fù)性優(yōu)異（±3％~±5%）

★基片臺(tái)：150mm×150mm/200mm×200mm

★蒸發(fā)源：可搭配4～8組蒸發(fā)源（兼容金屬與有機(jī)），可共蒸或切換蒸發(fā)