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YD24系列下游壓力控制器品牌
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YD24 系列(壓力控制器/流量計(jì))是一款應(yīng)用于半導(dǎo)體等高端工藝制程的壓力測(cè)控產(chǎn)品，
基于壓力式傳感器技術(shù)，控壓精度可達(dá)到±0.05%F.S.，
產(chǎn)品制造各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行，
可在任何工藝點(diǎn)對(duì)任何氣體(包括選定的腐蝕性氣體)進(jìn)行遠(yuǎn)程傳感壓力控制，
被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的沉積、刻蝕、熱處理、離子注入等設(shè)備中。
下游控壓，適用 1000torr 以下壓力控制范圍，精度可達(dá)±0.05%F.S.
快速響應(yīng)<100ms，金屬密封，電拋光表面光潔度適用于高純度工藝應(yīng)用
可定制多種通訊模式、機(jī)械接頭
適用于半導(dǎo)體等多種高端工藝制程
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