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P21C-系列質(zhì)量流量控制器品牌
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P21C-系列質(zhì)量流量控制器/流量計(jì) P21C系列（質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì)）是為高端半導(dǎo)體工藝制程而設(shè)計(jì)，該系列產(chǎn)品全部采用金屬密封，產(chǎn)品嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造，符合半導(dǎo)體高端設(shè)備工藝需求。 超高精度，可達(dá)+0.05%F.S 超快速響應(yīng)<200ms 重復(fù)性對標(biāo)行業(yè)**產(chǎn)品，可達(dá) 0.02%F.S. 可定制多種工作壓力、通訊模式、屏幕顯示、機(jī)械接口，適用于高精尖端工藝制程
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