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P21R-系列質(zhì)量流量控制器/流量計(jì)品牌
遼寧冠華產(chǎn)地
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P21R 系列(質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì))是高精度控制和測(cè)量氣體質(zhì)量流量的產(chǎn)品，
采用層流壓差式技術(shù)原理，實(shí)現(xiàn)多氣體、多量程、高精度、快速響應(yīng)的流量控制。
高精度±1%S.P./±0.2%F.S.
多量程，適用范圍 1sccm~200 SLM
多氣體，可支持 400 多種氣體
可定制通訊模式、屏幕顯示、機(jī)械接口
適用于各類高端工藝制程
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