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硅微粉是一類用途廣泛的無(wú)機(jī)非金屬材料。
硅微粉是將高純度的石英礦通過(guò)物理或化學(xué)方法破碎、粉碎而得到的微米級(jí)別的粉末,其顆粒大小一般在1-100微米之間,常用的顆粒大小為5微米左右,而隨著半導(dǎo)體制程的進(jìn)步,我司可達(dá)到2.5微米。
1.結(jié)晶性——SP220、SP315 2.干法型——SP10
3.濕法型——SP5 4.熔融型——RG115
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