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一、概述
硫粉預(yù)熱器采用管內(nèi)測(cè)控溫以保證在250℃以下，穩(wěn)定控制硫蒸汽的蒸發(fā)時(shí)機(jī)和蒸發(fā)溫度。真空機(jī)組裝有真空粉塵過濾器以保護(hù)機(jī)械式真空泵不被硫粉塵損壞。采用耐腐蝕電阻電容復(fù)合真空計(jì)（在1000Pa以上測(cè)量不受氣體種類影響，耐硫蒸氣腐蝕），通過調(diào)節(jié)真空蝶閥的開啟程度調(diào)節(jié)爐管內(nèi)壓力穩(wěn)定，在1200℃以下的工藝溫度穩(wěn)定氣相沉積二硫化鉬等二維化合物材料。
二、設(shè)備組成
HCVD-1200S雙溫區(qū)管式爐，HTF400C硫粉預(yù)熱器(雙溫區(qū)管式爐與預(yù)熱器可滑動(dòng))，質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng)，機(jī)械式真空泵等組成。
三、主要技術(shù)參數(shù)
硫粉預(yù)熱器
| 型號(hào)：HTF-400C 工作溫度：350℃ **溫度：400℃ *快升溫速率：30℃/min 推薦升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制 工作電壓：AC220 V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲
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雙溫區(qū)硫化爐 | 型號(hào)：HCVD-1200S 技術(shù)參數(shù)： 額定功率(KW):3 額定電壓(V):AC220v 50/60 Hz **溫度(℃):1200（1 hour） 持續(xù)工作溫度(℃）：1100 升溫速率（℃/min）：≤50 爐管尺寸（mm）： 高純石英管Φ50×1500mm 加熱區(qū)長(zhǎng)度（mm）：440mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度（mm）:200mm 控溫方式:模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能 控溫精度(℃):±1 加熱元件:電阻絲 |
供氣系統(tǒng)GMF3Z
| 質(zhì)量流量計(jì) 重量：35Kg 外形尺寸：600x600x650mm 連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭。 標(biāo)準(zhǔn)量程（N2標(biāo)定)：50sccm、200sccm、500sccm； （可根據(jù)用戶要求定制） 準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa **壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示 工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體 內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 截止閥：Φ6 |
低真空機(jī)組VAU-02
| 技術(shù)參數(shù)： 空氣相對(duì)濕度≤85%， 工作電電壓：220V±10% 50~60HZ 功率：1千瓦 抽氣速率：4L\s 極限真空：4X10-2Pa 實(shí)驗(yàn)真空度：1.0X10-1Pa 容油量：1.1L 進(jìn)氣口口徑：KF25 排氣口口徑：KF25 轉(zhuǎn)速：1450rpm 噪音：50dB 外型尺寸:450×180×240mm |
配真空粉塵過濾器，DN25手動(dòng)蝶閥用于控制爐管內(nèi)壓力，INFICON PCG554復(fù)合真空計(jì) |
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