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KYKY-EM80系列超高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡

一、產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EM80系列場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡定位為經(jīng)濟(jì)型肖特基熱場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡，拓展性豐富，性價(jià)比高，廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、化學(xué)、環(huán)境科學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

l 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍

l 多級(jí)高性能透鏡系統(tǒng)

l 束流穩(wěn)定性高

l 可定制超大樣品倉(cāng)

l 操作簡(jiǎn)便

l 拓展性豐富性價(jià)比高

三、技術(shù)參數(shù)

四、產(chǎn)品功能

1、二次電子探測(cè)器

高信噪比，高帶寬 · 大景深，表征樣品表面形貌結(jié)構(gòu)

2、不同探測(cè)器同時(shí)成像

· 顯示SE，BSE 雙通道圖像

· 可任意設(shè)置不同探

· BSE探測(cè)器，反應(yīng)樣品表面的成分特征

3、陰極熒光成像

4 大圖拼接

· 樣品區(qū)全域視場(chǎng)矩陣自動(dòng)規(guī)劃，拍照流程無(wú)需人工干預(yù)

· 百千張級(jí)數(shù)據(jù)量快速拼接實(shí)時(shí)預(yù)覽，構(gòu)建全域清晰掃描大圖

5 粒度分析

采用深度學(xué)習(xí)的復(fù)合圖像處理算法，自動(dòng)識(shí)別比例尺，精準(zhǔn)識(shí)別圖像中的顆粒，多種形態(tài)參數(shù)的統(tǒng)計(jì)與導(dǎo)出，

摻鋁碳酸鈷

多種形態(tài)參數(shù)結(jié)果

多種形態(tài)數(shù)據(jù)輸出

6 關(guān)鍵尺寸測(cè)量

具備距離，角度，水平線/垂直線/圓徑測(cè)算等，豐富的圖像測(cè)量功能

五、定制能力

1、電子束曝光（EBL）

l 功能：基于掃描電鏡的電子束曝光系統(tǒng)（EBL），能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積，從而實(shí)現(xiàn)高分辨率的圖形曝光。該系統(tǒng)采用先進(jìn)的電子束掃描控制技術(shù)，支持靈活多樣的圖案設(shè)計(jì)和精確控制，不僅具有電子束曝光功能，還保留了原SEM 的觀測(cè)功能，這使得用戶可以在同一臺(tái)設(shè)備上完成樣品的觀測(cè)和加工，提高了工作效率和便利性。

l 參數(shù)：*小束斑 優(yōu)于5nm;  探針電流 1pA~20nA;  線寬 優(yōu)于15nm

l 應(yīng)用場(chǎng)景

科研教學(xué)、微電子制造、原型器件開發(fā)、納米材料制備、生物醫(yī)療研究

l 應(yīng)用案例

二維周期陣列結(jié)構(gòu)加工

50nm線寬/周期200nm光柵結(jié)構(gòu)

60nm直徑點(diǎn)陣周期結(jié)構(gòu)

聲表面波碳納米管諧振器耦合器件

場(chǎng)效應(yīng)晶體管電極

2、真空互聯(lián)

真空互聯(lián)掃描電鏡用于對(duì)樣品車傳遞過(guò)來(lái)的產(chǎn)品進(jìn)行自動(dòng)檢測(cè)，分析其表面晶粒形態(tài)大小分布等信息，評(píng)估其薄膜的膜質(zhì)量情況。

真空互聯(lián)系統(tǒng)可以在真空狀態(tài)下對(duì)樣品進(jìn)行預(yù)處理，并傳遞到掃描電鏡內(nèi)進(jìn)行觀測(cè).

自動(dòng)檢測(cè)和反饋系統(tǒng)，對(duì)樣品標(biāo)簽、位置狀態(tài)、樣品交接進(jìn)行監(jiān)控和記錄，可以清晰的了解樣品傳輸狀況。

3、激光聯(lián)用-超快電鏡

l 功能：

超快電鏡利用激光、電場(chǎng)等外界刺激使樣品達(dá)到激發(fā)態(tài)。使用時(shí)間延遲可調(diào)的另一束激光作用于電鏡燈絲，產(chǎn)生脈沖電子束照射于樣品表面進(jìn)而收集表面逸出的二次電子對(duì)激發(fā)瞬態(tài)進(jìn)行表征。

l 掃描電鏡電子槍及發(fā)射陰極改造

改造后的電子槍 

（1）激光入口 ；

（2）探測(cè)激光引入示意圖，與電子束方向呈一定角度夾角;

（3）從激光入射口可見陰極工作時(shí)的發(fā)射狀態(tài)。

l 應(yīng)用領(lǐng)域

超快結(jié)構(gòu)動(dòng)力學(xué)，新型光場(chǎng)隱含物態(tài)調(diào)控、自由電子量子光學(xué)等。