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產(chǎn)品分類
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FGL(RTP)系列滑軌式管式爐(Tmax1100℃)
滑軌式管式爐一體化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),用干1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過(guò)移動(dòng)爐體實(shí)現(xiàn)快速冷卻的目的。同時(shí)也可以預(yù)先設(shè)定溫度，然后移動(dòng)到樣品處，達(dá)到快速升溫。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
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