中國(guó)粉體網(wǎng)訊 近日,江蘇省科技廳發(fā)布了2025年度省前沿技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目立項(xiàng)名單,吳江開發(fā)區(qū)蘇州賽伍應(yīng)用技術(shù)股份有限公司的大尺寸單晶金剛石多能場(chǎng)輔助原子級(jí)制造工藝及裝備項(xiàng)目成功入選。
圖源:吳江開發(fā)區(qū)
江蘇省前沿技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目是江蘇省為推動(dòng)現(xiàn)代化產(chǎn)業(yè)體系建設(shè)而設(shè)立的一項(xiàng)重要科技計(jì)劃,旨在超前布局前沿技術(shù)和顛覆性技術(shù)研發(fā)。此次賽伍技術(shù)攜手蘇州大學(xué)聯(lián)合開展的項(xiàng)目,正是圍繞大尺寸單晶金剛石超精密加工這一關(guān)鍵瓶頸展開攻關(guān),致力于實(shí)現(xiàn)高效、低損傷、原子級(jí)精度表面制造,為我國(guó)高端光學(xué)、半導(dǎo)體襯底、量子計(jì)算等前沿領(lǐng)域提供核心工藝支撐。
當(dāng)前,隨著量子信息、人工智能等高新技術(shù)迅猛發(fā)展,高端射頻器件、量子芯片、光電傳感器等新型半導(dǎo)體系統(tǒng)對(duì)材料表面質(zhì)量提出近乎極限的要求。單晶金剛石因其優(yōu)異的物理性能成為理想材料,但其極高的硬度也使得傳統(tǒng)拋光技術(shù)如機(jī)械拋光(MP)、化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)、離子束拋光(IBP)等難以兼顧效率、精度與損傷控制,成為制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展的“卡脖子”難題。
針對(duì)這一瓶頸,該項(xiàng)目創(chuàng)新地引入“光催化輔助化學(xué)機(jī)械拋光”方法,通過引入光催化反應(yīng),在原子層級(jí)精準(zhǔn)調(diào)控材料表面化學(xué)活性,將推動(dòng)金剛石加工技術(shù)的跨越式發(fā)展,實(shí)現(xiàn)高效、高精度、低損傷的原子級(jí)拋光技術(shù)突破,為高端光學(xué)器件、半導(dǎo)體襯底、精密機(jī)械和量子計(jì)算等前沿領(lǐng)域提供核心制造技術(shù)支撐。此外,該研究有望突破現(xiàn)有超精密加工技術(shù)的局限,為其他超硬材料的極限加工提供新思路,促進(jìn)我國(guó)在高端制造領(lǐng)域的技術(shù)突破,提升國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力。
蘇州賽伍應(yīng)用技術(shù)股份有限公司位于吳江開發(fā)區(qū),公司主要從事以膠粘劑為核心的薄膜形態(tài)高分子功能材料的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。在同一個(gè)技術(shù)平臺(tái)上研發(fā)和制造,不斷開發(fā)適用于不同應(yīng)用領(lǐng)域的功能性材料,實(shí)現(xiàn)了應(yīng)用領(lǐng)域的多元化和公司持續(xù)成長(zhǎng)。目前已成規(guī)模的應(yīng)用業(yè)務(wù)有:光伏材料、光伏電站維修延壽材料(MoPro®)、光伏其他材料、鋰電和新能源汽車材料、消費(fèi)電子材料和半導(dǎo)體材料。
圖源:蘇州賽伍應(yīng)用技術(shù)股份有限公司
此次項(xiàng)目由蘇州賽伍應(yīng)用技術(shù)股份有限公司與蘇州大學(xué)聯(lián)合推進(jìn),依托企業(yè)在半導(dǎo)體工藝與裝備開發(fā)方面的工程經(jīng)驗(yàn),以及高校在光電材料、超精密加工、表面表征等方面的科研積累,形成產(chǎn)學(xué)研深度融合的創(chuàng)新體系。目前,團(tuán)隊(duì)已成功研制出新型綠色環(huán)保拋光液,并搭建實(shí)驗(yàn)平臺(tái),實(shí)現(xiàn)金剛石材料原子級(jí)高效去除的技術(shù)突破,為后續(xù)系統(tǒng)驗(yàn)證與產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用奠定堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
參考來源:吳江開發(fā)區(qū)、蘇州賽伍應(yīng)用技術(shù)股份有限公司
(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/石語)
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