中國粉體網(wǎng)訊 近日,電科材料6英寸碳化硅外延片產(chǎn)業(yè)化工作取得重大進展,6英寸中高壓碳化硅外延片月產(chǎn)能力實現(xiàn)大幅提升。
碳化硅外延片,指在碳化硅襯底上生長了一層有一定要求的、與襯底晶向相同的單晶薄膜的碳化硅片,是用于制造高性能半導體器件的關鍵材料。電科材料持續(xù)布局第三代半導體外延材料研發(fā)生產(chǎn),實現(xiàn)一系列技術突破,在碳化硅外延領域,完成6英寸3300V碳化硅外延材料研發(fā)。同時,積極與國產(chǎn)設備廠商合作開發(fā)生產(chǎn)裝備,推動碳化硅核心裝備國產(chǎn)化。未來,電科材料將持續(xù)創(chuàng)新突破,推出更多高端碳化硅材料產(chǎn)品,為助力國內(nèi)新能源汽車、充電樁、光伏等新興產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展蓄勢賦能。
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/空青)
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