推薦碳化硅外延有多重要？

中國(guó)粉體網(wǎng)訊 首先，要搞清楚一個(gè)問(wèn)題。為什么SiC要先制作襯底，再在襯底上外延SiC制成外延片？而不是直接切下來(lái)？簡(jiǎn)單來(lái)講，碳化硅晶體在生長(zhǎng)過(guò)程中會(huì)不可避免地產(chǎn)生缺陷、引入雜質(zhì)，導(dǎo)致襯底材料的質(zhì)量和性能都不夠好，而外延層的生[更多]