推薦半導體用陶瓷靜電卡盤，我們才剛剛起步——訪清華大學潘偉教授

中國粉體網(wǎng)訊 在半導體產(chǎn)業(yè)鏈中，以先進陶瓷為代表的關(guān)鍵零部件是支撐半導體設備實現(xiàn)先進制造的重要載體，也是目前國產(chǎn)化替代的重要領(lǐng)域。同時，以碳化硅為代表的第三代半導體材料已展現(xiàn)出極其重要的戰(zhàn)略性應用價值，其中碳化硅單晶制備占據(jù)[更多]