中國(guó)粉體網(wǎng)訊 集成電路(IC)的制造過(guò)程中有著數(shù)百道的工藝步驟,硅片需要在這些工藝設(shè)備中來(lái)回的傳遞運(yùn)輸進(jìn)行加工檢測(cè)。為了保證IC的制造質(zhì)量,必須確保硅片在工藝設(shè)備之間的傳輸過(guò)程中保持絕對(duì)的平穩(wěn),同時(shí)還需保證硅片在加工載荷的作[更多]
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