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第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備品牌
新益昌海威產(chǎn)地
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第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備
機型：QDE系列
外延設(shè)單腔/多片（**3×8Inch）+潔凈真空機械手搬運， ?各盤獨立控溫，控溫精度高； ?水平層流布氣+分子泵排氣，控制氣體分布均勻； ?工藝進程實時監(jiān)控，精準(zhǔn)控制參數(shù)；
暫無數(shù)據(jù)！
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