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SiC長晶爐專用特種石墨熱場材料品牌
華錦新材產地
山東樣本
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概況
華錦新材生產的長晶爐用石墨加熱器、石墨坩堝、石墨導流環(huán)等專用石墨制品,可以滿足不同部件的使用要求。
產品優(yōu)勢
高密度、高強度、微細結構、材料均質性、批次穩(wěn)定性、優(yōu)異的抗硅蒸氣腐蝕性。
特種石墨材料在碳化硅長晶爐中扮演著關鍵角色。
1、它應具有出色的耐高溫性能,能夠在長晶過程中承受極高的溫度而保持穩(wěn)定,確保長晶環(huán)境的可靠性。
2、其應具有較高的熱導率,可以有效地傳導熱量,有助于維持爐內溫度的均勻性,這對晶體生長的質量和一致性至關重要。
3、長晶爐用特征石墨材料還具有良好的化學穩(wěn)定性,不易與其他物質發(fā)生反應,能在復雜的長晶條件下保持其性能。
4、它的機械強度較高,能夠承受長晶爐運行過程中的各種應力和壓力,保證設備的長期穩(wěn)定運行。
在碳化硅長晶中,優(yōu)質的特種石墨材料的使用有助于提高晶體的生長效率和良率,為碳化硅產業(yè)的發(fā)展提供了重要的支撐。
性能參數
牌號 | 體積密度(g/cm3) | 熱導率W/(m*k) | 孔徑(μm) | 孔隙率(%) | 抗彎強度(MPa) | 抗壓強度(MPa) | 灰分ppm | 灰分ppm(純化) |
HJ-1 | ≥1.90 | ≥120 | 0.3~0.6 | ≤12.8 | ≥80 | ≥100 | ≤150 | ≤3 |
HJ-1 | ≥1.93 | ≥120 | 0.3~0.6 | ≤12.8 | ≥90 | ≥110 | ≤150 | ≤3 |
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