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TaC涂層專用特種石墨基材
TaC涂層專用特種石墨基材

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型號

TaC涂層專用特種石墨基材

品牌

華錦新材

產(chǎn)地

山東

樣本

暫無
青島華錦新材料科技發(fā)展有限公司

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概況

華錦新材公司生產(chǎn)的TaC涂層專用特種石墨基材,能與TaC涂層的熱膨脹在不同溫度下(20-200℃:5.9*10-6/K;20-600℃:6.3*10-6/K;20-1600℃:7.1*10-6/K)高度匹配,**解決了多次升降溫引起的涂層開裂和剝落等問題,有效提高工件的服役時間。


產(chǎn)品優(yōu)勢

相較SiC涂層石墨,新一代的TaC涂層石墨的高溫耐腐蝕性、服役時間以及抑制雜原子遷移能力明顯提升,使用溫度由900-1500℃擴展到**2400℃,應(yīng)用場景由半導(dǎo)體單晶的同質(zhì)/異質(zhì)外延擴展到半導(dǎo)體晶圓生長(籽晶托架、導(dǎo)流筒、石墨坩堝、導(dǎo)流環(huán))等領(lǐng)域。涂層材料的變革對石墨基材的熱膨脹系數(shù)、電學(xué)與化學(xué)穩(wěn)定性、表面粗糙度、機械強度及熱導(dǎo)率提出了更高要求。

在高均勻溫度場中的處理溫度超過2400℃,華錦新材碳化鉭涂層石墨基材在電學(xué)與化學(xué)穩(wěn)定性大幅度提高,材料均質(zhì)性明顯改善,**密度差≤0.01g/cm3,電阻率≤10μΩm。

公司產(chǎn)品原料為超細顆粒,熱處理過程中,顆粒通過熔并一體化燒結(jié),實現(xiàn)高度致密化,且平均密度值達到1.92g/cm3,平均孔徑≤0.4μm,開孔率≤12%,相比傳統(tǒng)石墨,表面粗糙度與加工性能明顯提升。公司產(chǎn)品制備工藝精確控制,微觀結(jié)構(gòu)致密均勻、內(nèi)部缺陷明顯降低,承受的極限外應(yīng)力大幅度提高,使批量化產(chǎn)品的抗折強度≥80MPa,優(yōu)級品抗折強度≥85MPa。

公司產(chǎn)品采用超長時間熱處理工藝,晶體結(jié)構(gòu)完善,La,Lc值優(yōu)化,平均石墨化度≥80%,熱導(dǎo)率≥145W/m*K。


性能參數(shù)

牌號體積密度(g/cm3)熱膨脹系數(shù)(10-6/K)電阻率(μΩm)平均孔徑(μm)總孔隙率(%)抗彎強度(MPa)熱導(dǎo)率(W/m*K)
HJ-Ta-11.93

6.3(20~600℃)

7.1(1600℃)

10-11≤0.4<1280-85≥120
HJ-Ta-21.95

6.3(20~600℃)

7.1(1600℃)

10≤0.3<1185-90≥145


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