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AltraPure? Max 系列在線式氣體過濾器品牌
敖純過濾產(chǎn)地
上海樣本
暫無生產(chǎn)能力（kg/h）：
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-過濾面積（c㎡）：
-工作原理：
其他自動(dòng)化程度：
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其他濾料類型：
其他樣式：
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AltraPure? Max 系列在線式氣體過濾器，設(shè)計(jì)為過濾≥3nm（0.003μm）顆粒物的工藝氣體。
為大工作流量范圍（0~1000slpm）、高雜質(zhì)含量工藝氣體應(yīng)用提供了一個(gè)具有成本效益的過濾解決方案。
過濾器具有優(yōu)秀的化學(xué)兼容性，適用于所有種類的半導(dǎo)體制程氣體，如：化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積、干法刻蝕、氧化、擴(kuò)散、離子摻雜、光刻顯影等干法或濕法制程中工藝反應(yīng)氣體、吹掃氣體、保護(hù)氣體等的過濾。
暫無數(shù)據(jù)！
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