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AltraPure? mini & mini XL在線式氣體過濾器品牌
敖純過濾產(chǎn)地
上海樣本
暫無生產(chǎn)能力（kg/h）：
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其他自動(dòng)化程度：
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其他濾料類型：
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AltraPure? mini & mini XL在線式氣體過濾器，專為超高純度氣體過濾應(yīng)用而設(shè)計(jì)。過濾器采用2層PTFE濾膜，對(duì)干燥氣體的過濾精度達(dá)到0.003μm。獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，即使在高流量情況下，仍能保持較低的壓力損失。
該過濾器具有優(yōu)秀的化學(xué)兼容性，適用于所有種類的半導(dǎo)體制程氣體，如：大宗氣體輸送、沉積、光刻、刻蝕、氧化、擴(kuò)散、離子注入等干法或濕法制程中工藝反應(yīng)氣體、吹掃氣體、保護(hù)氣體等的過濾。
暫無數(shù)據(jù)！
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