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缺陷檢測設(shè)備 U315 系列品牌
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U315 是 SGSSEMI 國產(chǎn)自研 AOI（Automation Optical Inspection, 自動光學(xué)檢測） 量檢測設(shè)備,可用于表面缺陷檢測。U315 采用明場與暗場相結(jié)合的光學(xué)架構(gòu)，既能檢測硅基不透明材質(zhì),又能檢測第三代半導(dǎo)體、玻璃等透明材質(zhì)。在算法端，U315 應(yīng)用現(xiàn)代 AI 缺陷分類配合傳統(tǒng)經(jīng)典算法，實(shí)現(xiàn)晶圓缺陷精準(zhǔn)捕捉。
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