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PNX332B品牌
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日本樣本
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PNX332B 是全自動(dòng)通用拋光型設(shè)備，不僅可以處理氧化層和金屬膜，而且可以去除晶圓表面損傷層。該機(jī)型搭載有8個(gè)拋光頭，3個(gè)拋光臺(tái)，同時(shí)可以對6片晶圓進(jìn)行拋光，同時(shí)搭載3個(gè)拋光液料桶，分別給每個(gè)拋光臺(tái)提供拋光液，每個(gè)拋光臺(tái)可以根據(jù)客戶需求進(jìn)行粗拋或者精拋，每個(gè)拋光臺(tái)都配有拋光液和純水的管路，可以自動(dòng)切換純水或者拋光液。該機(jī)型在全球12寸硅片襯底的拋光占有率達(dá)到80%以上，今后也會(huì)將會(huì)在8寸碳化硅襯底的全自動(dòng)拋光做出應(yīng)有貢獻(xiàn)！
PNX332B 是全自動(dòng)通用拋光型設(shè)備，不僅可以處理氧化層和金屬膜，而且可以去除晶圓表面損傷層。該機(jī)型搭載有8個(gè)拋光頭，3個(gè)拋光臺(tái)，同時(shí)可以對6片晶圓進(jìn)行拋光，同時(shí)搭載3個(gè)拋光液料桶，分別給每個(gè)拋光臺(tái)提供拋光液，每個(gè)拋光臺(tái)可以根據(jù)客戶需求進(jìn)行粗拋或者精拋，每個(gè)拋光臺(tái)都配有拋光液和純水的管路，可以自動(dòng)切換純水或者拋光液。該機(jī)型在全球12寸硅片襯底的拋光占有率達(dá)到80%以上，今后也會(huì)將會(huì)在8寸碳化硅襯底的全自動(dòng)拋光做出應(yīng)有貢獻(xiàn)！
性能參數(shù)
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