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立式擴(kuò)散爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路數(shù) | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 6-12寸 |
4 | 適用工藝 | 擴(kuò)散（磷擴(kuò)、硼擴(kuò)）、氧化、退火、合金、鋁預(yù)沉積 |
5 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有自動(dòng)校準(zhǔn)溫區(qū)功能，具有預(yù)先寫(xiě)入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
6 | 控溫模式 | Spike控溫+Profile串級(jí)控溫 |
7 | 控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | 一體工控機(jī)+PLC |
8 | 報(bào)警保護(hù): | 具有超溫報(bào)警，斷偶報(bào)警，氣體互鎖，氣體緩啟動(dòng)等功能 |
設(shè)備主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)
1★具有強(qiáng)大的操作功能，windows界面，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時(shí)間；
2★采用可靠性工控機(jī)+PLC模式，對(duì)爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動(dòng)控制,實(shí)現(xiàn)全部工藝過(guò)程自動(dòng)化；
3★程序可以實(shí)現(xiàn)手/自動(dòng)工作，在停電或中途停機(jī)后，再次啟動(dòng)可以根據(jù)工藝手動(dòng)升溫，節(jié)省工藝時(shí)間；
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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