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Gasboard-2061品牌
四方儀器產(chǎn)地
湖北武漢樣本
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產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號(hào)：Gasboard-2061
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測(cè)支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計(jì)，便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
| 檢測(cè)原理 | NDIR |
| 檢測(cè)氣體 | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復(fù)性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測(cè)限 | 1ppm |
使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測(cè)支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時(shí)間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計(jì)，便于集成
方案概述合作背景2023年5月，歐盟委員會(huì)發(fā)布了《歐盟排放交易體系（EUETS）指令》（EU2023/959）和《歐盟MRV法規(guī)》（EU2023/957）的最終修訂文本。從2025年開始在歐洲領(lǐng)海運(yùn)營
2025-03-24
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2025-03-25
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2025-04-03
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2025-04-10
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為期三天的2025汽車測(cè)試及質(zhì)量監(jiān)控博覽會(huì)（Testing Expo China - Automotive）于8月29日在上海世博展覽館圓滿落幕。作為汽車測(cè)試技術(shù)盛會(huì)，本次展會(huì)匯聚了來自全球汽車產(chǎn)業(yè)鏈
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汽車測(cè)試及質(zhì)量監(jiān)控博覽會(huì)（Testing Expo China – Automotive）是全球領(lǐng)先的汽車測(cè)試技術(shù)國際盛會(huì)，聚焦汽車測(cè)試、開發(fā)與驗(yàn)證全產(chǎn)業(yè)鏈創(chuàng)新。2025年8月27-29日，四方儀器誠
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