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版本：
| 版本 | 工藝氣體 | 羽流長(zhǎng)度 | 羽流直徑 |
| V1.0 | Ar、O2、壓縮空氣 | 5mm | 0.9mm |
| V2.0 | Ar、O2、壓縮空氣 | 5mm | 1mm |
| 寬幅 | Ar、O2、壓縮空氣 |
無(wú)電極，無(wú)污染源，長(zhǎng)壽命；
等離子體不帶電，不會(huì)對(duì)精密電路造成損壞；
能在高氣壓下維持等離子體；
有較高的電離和分解程度；
自偏壓要求低；
微波發(fā)生器穩(wěn)定，易控制；高壓源和發(fā)生器互相隔離，安全；
半導(dǎo)體晶圓和集成電路制造（前、后道工序）中的等離子清洗設(shè)備
LCD顯示屏的制造設(shè)備
太陽(yáng)能電池生產(chǎn)的制造設(shè)備
各種無(wú)機(jī)材料，高分子材料，玻璃，金屬等的等離子清洗設(shè)備
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