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水平LPCVD是高質(zhì)量大批量大尺寸石墨烯CVD法生長(zhǎng)專用設(shè)備，多種工藝氣體、生長(zhǎng)壓力、工藝溫度、工藝過(guò)程計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制。該設(shè)備亦可其他大襯底LPCVD法成膜沉積工藝
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