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科研型擴(kuò)散爐品牌
華旗科技產(chǎn)地
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產(chǎn)品性能:
2~12寸晶圓工藝,5~25片/批
占地面積小,水平多管/垂直單管
200~1300℃/1400℃/2200℃(高溫)
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