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氣相沉積設(shè)備ATS500品牌
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ATS 500設(shè)計用于OLED、有機電子應用、光伏、半導體器件、透鏡和光學濾波器的研發(fā)和小批量生產(chǎn)。
系統(tǒng)特色是配有全彩觸摸屏的PLC，集成了工藝菜單控制和數(shù)據(jù)記錄功能，可以選配全電腦控制。
ATS 500提供廣泛的工藝選項，包括：
熱阻蒸發(fā)源。
溫度控制蒸發(fā)源，用于OLED和有機光伏應用。
電子束蒸發(fā)源，用于高速率蒸發(fā)。
離子束輔助，用于光學應用或者基板清洗。
DC、RF和脈沖DC源，用于金屬和電解質(zhì)向上或者向下的濺射工藝。
以上兩個或者多個功能的混合系統(tǒng)
暫無數(shù)據(jù)！
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