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*近，該顯微鏡還配備了高分辨率鏡頭和冷場(chǎng)發(fā)射電子槍，進(jìn)一步提高了圖像分辨率和電子束能量分辨率。同時(shí)，該型號(hào)系列還增加了一款不帶球差校正的主機(jī)配置，可以以后加配球差校正進(jìn)行升級(jí)。
特點(diǎn) |
（*） 選購(gòu)件
項(xiàng)目 | 描述 | |
| 圖像分辨率 | w/o球差校正儀 | 保證 0.204nm（當(dāng)放大倍數(shù)為4，000，000時(shí)） |
| w球差校正儀 | 保證 0.144 nm（當(dāng)放大倍數(shù)為7，000，000時(shí)）（標(biāo)準(zhǔn)鏡頭） | |
| 保證 0.136nm（HAADF圖像） 保證0.105 nm（通過FFT）（當(dāng)放大倍數(shù)為7，000，000時(shí)）（高分辨率鏡頭（*）） | ||
| 放大倍數(shù) | 100倍 至 10，000，000倍 | |
| 加速電壓 | 200 kV， 120 kV （*） | |
| 成像信號(hào) | 明場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡：相襯圖像（TE圖像） 暗場(chǎng)掃描透射電子顯微鏡：原子序數(shù)襯度圖像（Z襯度圖像） 二次電子圖像（SE圖像） 電子衍射（*） 特征X射線分析和面分布（能譜分析）（*） 電子能量損失譜分析和面分布（EV3000）（*） | |
| 電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子源 | 肖特基發(fā)射電子源 |
| 冷場(chǎng)致發(fā)射器（*） | ||
| 照明透鏡系統(tǒng) | 2-段聚光鏡鏡頭 | |
| 球差校正儀（*） | 六極鏡頭設(shè)計(jì) | |
| 掃描線圈 | 2-段式電磁感應(yīng)線圈 | |
| 原子序數(shù)襯度收集角控制 | 投影鏡設(shè)計(jì) | |
| 電磁圖像位移 | ±1 μm | |
| 試片鏡臺(tái) | 樣品移動(dòng) | X/Y軸 = ±1 mm， Z軸 = ±0.4 mm |
| 樣品傾斜 | 單軸-傾斜樣品桿：±30°（標(biāo)準(zhǔn)鏡頭）， ±18°（高分辨率鏡頭（*）） | |
| 真空系統(tǒng) | 3個(gè)離子泵，1個(gè)TMP | |
| 極限真空 | 10-8 Pa（電子槍）， 10-5 Pa（樣品室） | |
| 圖像顯示 | 個(gè)人電腦／操作系統(tǒng) | PC/AT兼容， Windows® XP |
| 監(jiān)視器 | 19-inch液晶顯示器面板 | |
| 圖像幀尺寸 | 640 × 480， 1，280 × 960， 2，560 × 1，920 象素 | |
| 掃描速度 | 快掃，慢掃（0.5至320秒／幀） | |
| 自動(dòng)數(shù)據(jù)顯示 | 記錄序號(hào)，加速電壓，下標(biāo)尺，日期，時(shí)間 | |
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