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英國DEBEN EBIC放大器
Deben旗下KED出品的EBIC，是一款樣品電流和電子束感生電流測量放大器，可進行吸收電流測量、吸收電流成像和電子束感生電流成像，可用偏壓樣品。
執(zhí)行EBIC成像所需的設備是掃描電子顯微鏡、EBIC放大器和電真空饋通。
從電子束注入的電子打破半導體均衡狀態(tài)，產生電子/空穴對，EBIC信號主要是從嵌入的擴散層（晶體管和二極管）產生，通過放大電子束產生的感生電流或電壓，便可由該效應形成SEM監(jiān)視圖像。
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