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美國(guó)SVT小型MBE
SVT 公司生產(chǎn)的SMART NanoFab MBE 具有體積小容量大的優(yōu)點(diǎn)。
可以多種生長(zhǎng)模式集成于一個(gè)腔室。
桌面大小的超高真空腔室包含了一系列沉積源以及工藝監(jiān)控儀器的端口。
裝載室可以盛放多個(gè)樣品，便于在超干凈環(huán)境下操作樣品。
集成電子控制柜以及烘烤系統(tǒng)使操作系統(tǒng)非常簡(jiǎn)便。
可容納4或8個(gè)源。
應(yīng)用
III-V，II-VI，II-Oxides，III-Nitrides以及其他材料；
想使用MBE并需要其他薄膜生長(zhǎng)模式生長(zhǎng)的材料
沉積源和檢測(cè)儀器
蒸發(fā)源
單坩堝以及多坩堝電子束蒸發(fā)源
RF等離子體源
激光器燒蝕源
濺射源
氣體入射源
RHEED以及RHEED分析軟件
AccuFlux 原位工藝監(jiān)控儀
QCM石英晶體速率監(jiān)控儀
線性束流監(jiān)控儀
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