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CBr4是很好的III-V材料的p型摻雜源。在使用MBE技術(shù)生長p型摻雜外延材料中具有很多用途。
SVT公司CBr4模塊適用于任何MBE，具有安全、操作簡單等特點。CBr4通過一個壓力控制系統(tǒng)被輸送到腔室。此壓力控制系統(tǒng)可以控制蒸汽壓流量。氣體控制面板可以精確控制CBr4氣體的流量。
特點
●適用于任何MBE
●高性能的氣體入射源
●先進的氣體操作系統(tǒng)
●安全，操作簡單
部件
氣體入射源
●帶有加熱器的入射源（長度可客戶定制）
●溫度控制器（可放在電子控制柜中）
●雙接頭氣體管路
氣體操作系統(tǒng)
●外部手動可調(diào)閥門
●熱漏閥和控制器
●冷陰極真空規(guī)以及控制器
可選
●氣動閥門
●氣動閥門控制器
●氣路烘烤裝置
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