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等離子刻蝕機(jī)
等離子刻蝕機(jī)

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北京嘉潤通力科技有限公司(JRP).

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等離子刻蝕機(jī)

  • 適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體活化、刻蝕、清洗,鍍膜。

  • 處理時(shí)的因熱負(fù)荷及機(jī)械負(fù)荷都很低,故也可處理敏感性材料。

  • 典型應(yīng)用:等離子體清除浮渣、光阻材料剝離、各向異性和各向同性失效分析應(yīng)用、等離子刻蝕反應(yīng)、鈍化層蝕刻、聚亞酰胺蝕刻等。

設(shè)備參數(shù)

  • 處理面:直徑10.5”不銹鋼裝載裝置,水冷陶瓷絕緣

  • 真空腔:內(nèi)徑15”陽極電鍍鋁,表面氧化處理

  • 處理均勻性±5%

  • 水冷機(jī):W16”× D36”× H24”

  • 氣體箱:W30”× D24”× H12”



外部連接

  • 電源:220V AC  30mA   50/60Hz

  • 壓縮空氣或氮?dú)猓?0-100PSI   1/4”快速接頭QC

  • 處理氣體:15PSI  100sccm  1/4”外螺紋VCR接頭

  • 排氣:50CFM   KF40快卸緊固法蘭

  • 水冷:30-60PSI   3/8”快速接頭QC



基本配置

  • 電源配給,RIE

  • 安全互鎖裝置

  • 通訊接口模塊

  • 設(shè)備水電氣連接系統(tǒng)

  • 控制器



RIE配置

  • 等離子射頻電源 RF600W(可選裝RF1000W)

  • 氣體流量控制:MFC質(zhì)量流量計(jì)×4(1路適用于氯氣)

  • 裝載配置:真空裝載腔真空系統(tǒng)、真空裝載腔加熱組件

  • 控制系統(tǒng):電腦控制、標(biāo)準(zhǔn)19”液晶顯示屏

  • 真空泵:分子渦輪泵、機(jī)械泵(干泵)8cfm-C

  • 真空控制組件、射頻電極組件、真空存儲(chǔ)腔


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售后服務(wù)

10分

易用性

10分

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  • 等離子刻蝕機(jī)多少錢一臺(tái)?
  • 等離子刻蝕機(jī)使用的注意事項(xiàng)
  • 等離子刻蝕機(jī)的說明書有嗎?
  • 等離子刻蝕機(jī)的操作規(guī)程有嗎?
  • 等離子刻蝕機(jī)的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎?
  • 等離子刻蝕機(jī)有現(xiàn)貨嗎?
  • 等離子刻蝕機(jī)包安裝嗎?
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