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等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
ZYE-1200-PE
為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)。它是由500W射頻電源、1200℃單溫區(qū)管式爐、三通道質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)用于生長(zhǎng)納米線、石墨烯或SiC薄膜等
型號(hào) | ZYE-1200-PE |
工作溫度 | **溫度:1200℃(使用是必須通入惰性氣體以防爐管發(fā)生形變)工作溫度:1100℃推薦升溫速率:≤10℃/min |
控溫精度 | ±1℃ |
配置爐管尺寸 | Φ50(外)×1200mm(其他可定制) |
爐膛尺寸 | |
加熱區(qū) | 加熱長(zhǎng)度:220mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:60-80mm(±3℃) |
控制方式 | PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能,智能化30段可編程控制,具有超溫及段偶功能K型熱電偶,可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集(需另購(gòu)) |
密封系統(tǒng) | 不銹鋼密封法蘭(包括316L針閥、真空機(jī)械壓力表、軟管接頭) |
加熱元件 | 北京首鋼HRE |
**功率 | 3kW |
供氣系統(tǒng) | 三路高精度MFC 量程0-500sccm(按客戶需求定) |
射頻電源 | 射頻功率:5-500W 射頻頻率:13.56MHz 匹配方式:自動(dòng)匹配 |
真空系統(tǒng) | 雙級(jí)旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等) |
額定電壓 | 單相AC220V 50/60Hz |
外形尺寸 | 1600*600*1200mm(長(zhǎng)*寬*高) |
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