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安徽助研儀器有限公司

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等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD

等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
  • 品牌:助研儀器
  • 產(chǎn)地:安徽
  • 關(guān)注度:691
  • 型號(hào):等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD
  • 報(bào)價(jià):面議
  • 信息完整度:
核心參數(shù)
    產(chǎn)品介紹

    等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD

    ZYE-1200-PE

    為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來(lái)促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)。它是由500W射頻電源、1200℃單溫區(qū)管式爐、三通道質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)組成。此款PECVD系統(tǒng)用于生長(zhǎng)納米線、石墨烯或SiC薄膜等

    4db54718301375bfe950c07ac54df6f.png

    技術(shù)參數(shù)
    型號(hào)ZYE-1200-PE
    工作溫度**溫度:1200℃(使用是必須通入惰性氣體以防爐管發(fā)生形變)工作溫度:1100℃推薦升溫速率:≤10℃/min
    控溫精度±1℃
    配置爐管尺寸Φ50(外)×1200mm(其他可定制)
    爐膛尺寸

    Φ80×280mm

    加熱區(qū)加熱長(zhǎng)度:220mm 恒溫區(qū)長(zhǎng)度:60-80mm(±3℃)
    控制方式PID控制和自整定調(diào)節(jié)功能,智能化30段可編程控制,具有超溫及段偶功能K型熱電偶,可安裝PC控制軟件對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行實(shí)時(shí)采集(需另購(gòu))
    密封系統(tǒng)不銹鋼密封法蘭(包括316L針閥、真空機(jī)械壓力表、軟管接頭)
    加熱元件北京首鋼HRE
    **功率3kW
    供氣系統(tǒng)三路高精度MFC 量程0-500sccm(按客戶需求定)
    射頻電源射頻功率:5-500W 射頻頻率:13.56MHz 匹配方式:自動(dòng)匹配
    真空系統(tǒng)雙級(jí)旋片真空泵(可定制擴(kuò)散泵 分子泵等)
    額定電壓單相AC220V 50/60Hz
    外形尺寸1600*600*1200mm(長(zhǎng)*寬*高)


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    • 等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD的使用方法?
    • 等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD多少錢一臺(tái)?
    • 等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD使用的注意事項(xiàng)
    • 等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD的說(shuō)明書有嗎?
    • 等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD的操作規(guī)程有嗎?
    • 等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎?
    • 等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD有現(xiàn)貨嗎?
    • 等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)-PECVD包安裝嗎?

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    安徽助研儀器有限公司

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