
北京泰科諾科技有限公司
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基片臺尺寸:抽屜式:150mm×120mm 可旋轉、升降
膜厚不均勻性:≤ ±5.0%(120mmx120mm 范圍內(nèi))
濺射靶:6英寸3只
濺射靶電源:1臺RF,2臺DC
控制方式:PLC/PC 控制 ( 可選 )
占地面積:L2500mmxW1600mmxH1900mm ( 不含手套箱 )
總功率:≥15kW 三相五線制
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9111011475217349XB法人代表
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