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1）常用溫度：1000℃；

2) **溫度：1100℃；

3) 控溫穩(wěn)定度：±1℃，具有PID參數(shù)自整定功能；

4) 溫度均勻度：±5℃，1000℃平臺恒溫1小時空爐測試，預(yù)留檢測口；

5) **升溫速率：10℃/min

6) 控溫點數(shù)：3點；控溫?zé)崤迹篘分度；另加單獨測溫點數(shù)：1點；并預(yù)留測溫孔，供客戶自行測溫。

7) 罐體材料：Inconel601；

8) 罐體尺寸：Φ630×900（d×D）；

9) 有效尺寸：400×400×500mm（W×H×D）（此為溫場均勻區(qū)域）；

10) 承料方式：罐體內(nèi)底部承托板，承重≥40kg，工作臺2個；

11) 加熱元件：FEC陶瓷纖維加熱器，布置在爐膛外部，壽命≥10000h；

12) **加熱功率：48kW；

13) 空爐典型保溫功率：≤20kW；

14) 程序步數(shù)：30步；

15) 燒結(jié)氣氛：氬氣或空氣；

16) 氧含量：優(yōu)于10ppm+氣源氧含量；

17) 氧監(jiān)測：配置一臺微氧氧分儀實時監(jiān)測爐膛內(nèi)氧含量（空氣狀態(tài)時不可用）；

18) 極限真空度：≤100Pa（抽氣時間≤10min）；

19) 冷卻方式：鼓風(fēng)機(jī)外部強(qiáng)制冷卻（500℃以下降溫速率≥2℃/min）；

20) 設(shè)備外表面溫升：≤35℃；

21) 報警保護(hù)：超溫、斷偶、低氣壓、低水壓、真空度不達(dá)標(biāo)等聲光報警保護(hù)，并具有超溫斷加熱保護(hù)功能；

22) 設(shè)備重量：約1000Kg；

23) 設(shè)備顏色：淺灰色；

      24) 外形參考尺寸：1500×1900×1800mm（W×H×D），具體尺寸以實際產(chǎn)品為準(zhǔn)。

25) 熱工設(shè)計：設(shè)備馬弗采用Inconel601不銹鋼制作，圓形罐體結(jié)構(gòu)，內(nèi)面拋光；爐腔設(shè)計按照真空腔體設(shè)計要求，實現(xiàn)高真空密封要求，長期使用不變形，壽命≥2年；加熱元件為陶瓷纖維材料內(nèi)嵌螺旋加熱絲，罐體外部四周環(huán)繞加熱。采用前、中、后三點獨立控溫方式，保證爐膛內(nèi)部的溫度均勻性。

26) 真空系統(tǒng)：通過旋片式真空泵獲取真空，極限真空度100Pa，抽氣時間≤10min。所有的真空管路均由304不銹鋼制作，采用氬弧焊接，帶標(biāo)準(zhǔn)真空密封法蘭，電解拋光；系統(tǒng)真空度由電阻規(guī)檢測，并通過真空計讀取。整個真空系統(tǒng)中的閥門均為程序自動控制，自動模式下系統(tǒng)自動順序動作，且具有聯(lián)動互鎖和完備的安全保護(hù)功能，在斷電時各閥門均處于關(guān)閉狀態(tài)以保護(hù)爐內(nèi)工藝狀態(tài)。

27) 氣氛系統(tǒng)：進(jìn)氣分三路，一路置換進(jìn)氣、一路氬氣、一路空氣；設(shè)備使用時可先對罐體進(jìn)行預(yù)抽真空，再向罐體內(nèi)回填保護(hù)氣體；置換進(jìn)氣氣體流量由玻璃轉(zhuǎn)子流量計控制，量程48～480L/min，倒灌時間≤3min；氬氣及空氣流量均由質(zhì)量流量計控制，量程0～5L/min，*小可設(shè)置流量≯50mL/min，控制精度≯50mL/min；除置換氣外，每路進(jìn)氣通斷均由電磁閥控制，通過程序控制，可在不同的工藝段通入不同的氣體，且氣體進(jìn)入有效區(qū)域后與爐膛溫度相差<10℃。

28) 密封設(shè)計：為保證爐口的密封性，爐口法蘭處設(shè)計有密封槽，用于安裝氟橡膠密封圈，密封圈背部設(shè)計有冷卻水套，用于保護(hù)氟橡膠密封圈，防止其在高溫下?lián)p壞。為保證爐門處表面溫升，在爐門內(nèi)部填充陶瓷纖維保溫材料，密封材料壽命不小于2年。

29) 溫度控制：通過N分度熱偶測量溫度，日本山武智能溫控模塊采集熱電偶信號，觸發(fā)控制固態(tài)繼電器，實現(xiàn)并達(dá)到控制溫度的目的；山武智能溫控模塊具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多項報警保護(hù)功能。

30) 操控系統(tǒng)：觸摸屏集中控制并顯示溫度、真空度、閥及真空泵動作邏輯，方便觀察及操作；具有顯示/存儲工藝文件，方便調(diào)用固化工藝；實時顯示與記錄報警狀態(tài)；實時記錄各工藝參數(shù)；具有多級權(quán)限管理，確保不同管理人員對不同參數(shù)數(shù)據(jù)具有合適的操作權(quán)限，配有數(shù)據(jù)、報警、操作記錄功能，數(shù)據(jù)、報警、操作可追溯，可保存300天，數(shù)據(jù)可通過U盤導(dǎo)出，操作界面高度距地面1.4~1.6m。

31) 其他：操作方便，樣品放置方便，且不會導(dǎo)致破壞密封；