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靜電卡盤(pán)又稱(chēng)靜電吸盤(pán)（ESC），是半導(dǎo)體設(shè)備中價(jià)值比較高的部件之一；用于半導(dǎo)體工藝中的硅片夾持，利用靜電吸附原理來(lái)固定硅片。近年來(lái)，隨著國(guó)家加大半導(dǎo)體領(lǐng)域的投入，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備采購(gòu)額逐年增加，推動(dòng)了包括靜電吸盤(pán)（ESC）在內(nèi)的核心部件的采購(gòu)量增長(zhǎng)。此外，隨著中國(guó)大陸晶圓產(chǎn)能的建設(shè)和擴(kuò)產(chǎn)，中國(guó)成為全球晶圓產(chǎn)能增長(zhǎng)的重心，帶動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的需求增長(zhǎng)，為國(guó)產(chǎn)靜電吸盤(pán)（ESC）的發(fā)展提供了良好的機(jī)遇。
陶瓷靜電卡盤(pán)由含有置入其內(nèi)的至少一個(gè)電極層的陶瓷圓盤(pán)構(gòu)成，通常使用多層陶瓷共燒工藝進(jìn)行制備，采用絲網(wǎng)印刷導(dǎo)電漿料（鎢、鉬）在一個(gè)或多個(gè)陶瓷生坯片（氧化鋁或氮化鋁材質(zhì)）上形成電極。將印刷好的生坯片按照要求進(jìn)行疊層共燒后，經(jīng)過(guò)精加工得到陶瓷圓盤(pán)。
為解決燒結(jié)設(shè)備依賴(lài)進(jìn)口的問(wèn)題，我司通過(guò)多年積攢的高溫氣氛燒結(jié)設(shè)備制造經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合國(guó)外設(shè)備的優(yōu)點(diǎn)，研發(fā)制造出“BF220-17NH高溫氣氛鐘罩爐”設(shè)備，專(zhuān)門(mén)用于靜電卡盤(pán)的高溫共燒工藝，有效尺寸達(dá)Φ750×H500。
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企業(yè)名稱(chēng)
合肥智熱裝備有限公司企業(yè)類(lèi)型
有限責(zé)任公司（自然人投資或控股）信用代碼
91340121MA2UUEBC8R法人代表
臧福海注冊(cè)地址
安徽省合肥市肥西縣經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)方興大道與玉蘭大道西北交口北3號(hào)廠(chǎng)房成立日期
2020-6-1注冊(cè)資本
500萬(wàn)有效期限
長(zhǎng)期
經(jīng)營(yíng)范圍
一般項(xiàng)目:烘爐、熔爐及電爐制造;烘爐、熔爐及電爐銷(xiāo)售;智能基礎(chǔ)制造裝備制造;智能基礎(chǔ)制造裝備銷(xiāo)售;機(jī)械設(shè)備銷(xiāo)售;機(jī)械設(shè)備研發(fā);技術(shù)服務(wù)、技術(shù)開(kāi)發(fā)、技術(shù)咨詢(xún)、技術(shù)交流、技術(shù)轉(zhuǎn)讓、技術(shù)推廣;環(huán)境保護(hù)專(zhuān)用設(shè)備銷(xiāo)售;環(huán)境保護(hù)專(zhuān)用設(shè)備制造;普通機(jī)械設(shè)備安裝服務(wù);電子元器件與機(jī)電組件設(shè)備銷(xiāo)售;電子元器件與機(jī)電組件設(shè)備制造;工業(yè)機(jī)器人安裝、維修;工業(yè)自動(dòng)控制系統(tǒng)裝置制造;工業(yè)機(jī)器人制造;計(jì)算機(jī)軟硬件及外圍設(shè)備制造;軟件開(kāi)發(fā);機(jī)械零件、零部件加工;機(jī)械零件、零部件銷(xiāo)售;進(jìn)出口代理;技術(shù)進(jìn)出口:貨物進(jìn)出口(除許可業(yè)務(wù)外，可自主依法經(jīng)營(yíng)法律法規(guī)非禁止或限制的項(xiàng)目)
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